CVD（化学気相成長）装置は、加熱部（管状炉）、ガス供給系（質量流量計またはフロート流量計）、真空系、冷却系で構成されます。本装置は、気体（蒸気）状態の原料から基板上に、薄膜を成膜する化学気相成長プロセスであり、成膜中に […]