RTCVD炉は、急速加熱技術により前駆体ガスから超高純度薄膜を精密成長させる装置で、短時間熱サイクルによって不純物拡散や欠陥生成を最小化し、優れた純度・均一性を実現します。 型番：OSK 93TI161 ◎特徴◎ ◎仕様 […]