CVD（化学気相成長）装置は、加熱部（管状炉）、ガス供給系（質量流量計またはフロート流量計）、真空系、冷却系で構成されます。本装置は、気体（蒸気）状態の原料から基板上に、薄膜を成膜する化学気相成長プロセスであり、成膜中には化学反応が関与します。
型番：OSK 33LK-CSシリーズ
◎特徴◎
+ 5系統の質量流量計
+ VPRモデルの真空システム(10Pa)
+ 4系統の質量流量計
+ VPRモデルの真空システム(10Pa)
+ 4系統の質量流量計
+ VPGモデルの真空システム(6.67×10⁻³ Pa)
+ 冷却システム
タッチパネル付き炉 ＋ 3系統の質量流量計
＋ VPRモデルの真空システム(10Pa)
◎仕様◎
加熱システム
| 型番 OSK 33LK | CS-12 | CS-14 | CS-17 |
|---|---|---|---|
| 最高温度(℃) | 1200℃ | 1400℃ | 1700℃ |
| 連続使用温度(℃) | 1100℃まで | 1300℃まで | 1600℃まで |
| 昇温速度 | 0〜20℃/分（推奨：0〜10℃/分） | ||
| 表示パネル | LED（オプション：タッチスクリーン） | ||
| 温度制御精度 | ±1℃ | ||
| 温度制御方式 | 最大30セグメントのプログラム制御、 PID自動制御（SCR電力制御方式） | ||
| 加熱ゾーン長さ（mm） | 300 / 440 / 660（カスタマイズ対応） | ||
| 温度ゾーン | 単一／二重／多重（カスタマイズ対応） | ||
| 炉体内張材質 | 高純度セラミックファイバー | ||
| 発熱体素材 | モリブデン含有抵抗線 | SiCヒーター | MoSi₂ヒーター |
| 熱電対タイプ | N | S | B |
| 安全機能 | 過昇温・熱電対断線時に視覚・聴覚アラーム、加熱部電源自動遮断 | ||
| フランジ構造 | ステンレス製フランジ、ガス導入口・排出口・関連バルブ・機械式圧力計付き | ||
| 外装材質 | 高品質炭素鋼（粉体塗装） | ||
| 標準管材 | 石英管1本（開閉扉付き） | アルミナ管1本（扉なし） | |
| 最大使用圧力 | 0.02 Mpa | ||
| 電源 | 単相 AC 100V 又は 三相 AC 200V、50/60Hz | ||
| 石英管外径（mm） | |||
| Φ60 | Φ80 | Φ100 | Φ120 |
| アルミナ管外径（mm） | |||
| Φ60 | Φ80 | ||
真空システム
| モデル | VPG | VPR |
|---|---|---|
| 真空ポンプ | ロータリーベーンポンプ＋油拡散ポンプ（KF25/KF50変換アダプター、ベローズ、キャスター付き移動キャビネットを含む） | ロータリーベーン真空ポンプ（KF25変換アダプター、ベローズ、キャスター付き移動キャビネットを含む） |
| 到達真空度（冷態時） | 6.67×10⁻³ Pa | 10Pa |
| 真空計 | 複合型デジタル真空計 | デジタル真空計 |
| 真空フランジ | バルブ・ニードル付きステンレス製フランジ | |
質量流量計（マスフローコントローラー（MFC））
| 測定流量範囲 | 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM | |
|---|---|---|
| 精度 | ±1.5％ F.S. | |
| 再現性 | ±0.2％ F.S. | |
| 応答時間 | ≦10秒 | |
| 差圧範囲 | 0.1～0.5 Mpa | |
| 耐圧 | 3 Mpa | |
| 温度係数 | ゼロ：≤±0.2％F.S./℃、スパン：≤±0.2％F.S./℃ | |
| 使用周囲温度範囲 | 5～45℃ | |
| 入力信号 | 0～+5.00 V | |
| 出力信号 | 0～+5.00 V | |
| 電気コネクタ | DB15ピン（メス） | |
| 電源 | +15 V（50 mA）、-15 V（200 mA） | |
冷却システム
| 冷却能力 | 1490W | |
|---|---|---|
| 冷媒 | R134a | |
| 温度制御精度 | ±0.3℃ | |
| ポンプ出力 | 0.05kW | |
| 最大揚程 | 11m | |
| 循環流量 | 19L/min | |
| タンク容量 | 7L | |
| 入出水口 | 内径φ8mmクイックコネクター（パゴダ型継手） | |
| 制御方式 | デジタル表示コントローラー | |
| 外形寸法（WxDxH）mm | 280ｘ550ｘ430 | |
| 本体重量 | 28kg | |
◎標準構成品◎
- OSK 33LK-CSシリーズ CVDシステム (加熱システム+真空システム+質量流量計+冷却システム※1)
- 石英管 または アルミナ管 （1本）
- フランジ・フランジスタンド
- 高温用断熱手袋（1双）
- 坩堝用フック（1本）
- 六角レンチ（1本）
- 保証期間：1年間※2
- 取扱説明書
※1 VPGモデルの真空システムには冷却システムが標準装備されておりますが、VPRモデルには付属しておりません。
※2 発熱体および消耗部品は保証対象外
